진공기술 1.

진공 기술 설명

진공 기술에 대해 궁금하신 분들을 위해 간단한 설명을 드립니다.

Throughput을 감소시키는 주요 원인:

1. 설비 배관이 가장 큰 영향을 미칩니다.

Q. 그럼 얼마나 영향을 미치나요?

Ans. 삼성전자의 진공 배기 시스템 기준으로 설비 배관이
Grating 하단의 진공 배기 배관보다 훨씬 중요한 역할을 합니다.

Q. 왜 그런가요?

c = π / 128 × [D⁴ / ηL] P̅ (4)

Conductance는 위 수식에 따라 결정됩니다. 보시면 D가 4제곱입니다.

최근 확장된 설비 배관도 D = 100파이 정도이며, 이는 FSF 관의 절반 수준입니다.

그렇다면 conductance가 1/16이 됩니다.

따라서 CSF, FSF에서 배관을 직관으로 만들고 직경을 키워도 큰 효과를 기대하기 어렵습니다.

FSF에서 여러 번 꺾여도 성능 차이는 미미합니다 (약 10회).

유동 해석 측면에서도 continuity equation과 Navier-Stokes 방정식의 해석이
Kn 수가 낮은 영역에서는 잘 일치합니다 (공정 영역).

→ Pump 용량 확대가 항상 필요할까요?

최근 10만~15만 L로 늘리는 경향이 있지만, diffusion이나 CVD, IMP에서
획기적인 물질이나 새로운 구조가 아니라면 큰 의미가 없습니다.
(예: GAA, 나노시트, FET 등과 같은 새로운 구조가 아닌 경우)

조금 TMI일 수 있지만, 혹시 도움이 되길 바랍니다 :)